AE射頻電源 Pinnacle
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產(chǎn)品名稱(chēng): AE射頻電源 Pinnacle
產(chǎn)品型號(hào): MDX Pinnacle
產(chǎn)品展商: AE電源
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
MDX 系列1 kW 和1.5 kW 電源在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，其小巧的尺寸使其成為實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)的理想解決方案。它們常用作直流磁控濺射電源;在該領(lǐng)域，二者精密的調(diào)節(jié)性能的滅弧功能和較低的存儲(chǔ)輸出能量使之成為業(yè)界產(chǎn)品。它們還在射頻濺射和蝕刻系統(tǒng)中被用作精密調(diào)節(jié)的偏壓電源。
優(yōu)勢(shì)：針對(duì)標(biāo)準(zhǔn)Z和低Z，應(yīng)用的兩種配置，高頻開(kāi)關(guān)電路從線路到負(fù)載的效率超過(guò)90% Arc-Out? 抑制電路 常用作直流磁控濺射電源
特點(diǎn)：尺寸小，輸出紋波很低，可調(diào)節(jié)抑弧。
AE射頻電源 Pinnacle
的詳細(xì)介紹
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